V1: Katere ultra visoke zlitine čistosti se uporabljajo v sistemih za dostavo polprevodniških plinov?
A1:Elektro polirani 316L vim-VAR (vakuumska indukcija topljeni vacuum lok Remelded) nerjavno jeklo je standardno za pline z visoko vlagami . nikljeve zlitine, kot so Hastelloy c-22 korozivne predhodnike . posebne copperjeve zlitine . posebne copperjeve zlitine. Chambers . Ti materiali vzdržujejo ravni čistosti pod 1PPB kontaminantne ravni .
V2: Kako se šteje število delcev v cevovodih polprevodnikov?
A2:Sklop čistega prostora preprečuje kontaminacijo delcev med namestitvijo . Ultrasonično čiščenje Odstrani proizvodne ostanke . Procesi pasivacije Optimizirajo površinsko kemijo . neprekinjene čistilne sisteme vzdržujejo inertna okolja .}} laserskih števcev v razredu (<0.1 particles/ft³ >0.1μm).
V3: Kaj se polprevodniške plinske plošče razlikuje od industrijskih cevovodov?
A3:Polprevodniške plošče uporabljajo ultra visoke komponente čistosti s kovinskimi zaprtimi povezavami . površinske zaključke dosežejo<5Ra micro-inch smoothness. Specialized valves and regulators prevent outgassing. Complete systems are helium-leak tested to <1×10⁻⁹ atm-cc/sec. These extreme measures prevent wafer contamination.
V4: Zakaj so za polprevodniške cevi potrebne posebne tehnike varjenja?
A4:Orbitalno varjenje z visoko frekvenco Minimizira vhod in izkrivljanje toplote . Povratno čiščenje z ultra-visokim čistosti Argon preprečuje oksidacijo . avtomatizirani sistemi zagotavljajo popolno ponovljivost . Vsi vari, ki podvržejo preskusu podpusta in preskušanja borescopa in testiranja uhajanja borescopa {{5}... ravni .
V5: Kako so potrjene cevi za dostavo plina za polprevodniške fab?
A5:Validacija vključuje analizo preostalega plina za onesnaževalce . SIMS (sekundarna ionska masna spektrometrija) Preveri površinsko sestavo . preskusi za izkazovanje količinsko opredelijo nestanovitne emisije . testi za odstranjevanje delcev.
